洁净室各项目检测方法总结
过滤器检漏
一、说明
过滤网的泄漏测试应当是无尘室测试中,复杂、耗时间的测量项目。泄漏测试的目的,是要确认:
1. 滤网的材料无破损,
2. 安装恰当。
滤网出厂前当然要经过泄漏测试,但是在搬运与安装过程难保完全无损,而且滤网的重要性又大于一切,洁净检测流程,因此安装完毕都要做一次扫描,以确认滤材无任何泄漏。另外,若是安装不恰当,微粒会从边框漏进无尘室风口。就算是
ffu 系统,---上是负压,若是边框机有微粒日后仍旧会产生问题。因此,边框扫描一样重要。
滤网泄漏测试基本上是利用滤网上游的颗粒,然后在滤网下表面与边框用微粒探测仪器搜寻有无泄漏。泄漏测试有几种不同的方式,适用在不同的场合。
测试方式有:
1. 气胶光度计测试法, 2. 微粒计数器测试法, 3. 外气测试法。后两种现在使用非常少。
1.洁净室的送风不会---增加室内的污染。
2.洁净室的送风量充足,洁净检测,---稀释或消除室内产生的污染。
3.室内空气的运动状态可---密室内没有高浓度---区域。
4.洁净室内的空气是从洁净区向洁净程度差的区域流动,洁净检测机构,受污染空气的流动达到较低程度,空气在门口处和室内建筑中的流动方向正确。
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