洁净室测试要点
1.必须按照测试仪器的检定周期,定期对测试仪器作检定。应使用检定合格,且在使用有效期内的仪器。
2.测试仪器在未进入被测区域时,若必需,则先清洁表面,或在相应的洁净室准备和存放(用保护罩或其它适当地外罩保护仪器)
3.在100级洁净室内用纸时,上面应蒙上一张透明不沾尘的覆盖物,空气洁净检测机构,在100级洁净室内不能用铅笔和橡皮。
4.使用测试仪器时应严格按照仪器说明书操作。
a.仪器开机,预热至稳定后,方可按测试仪器说明书的规定对仪器进行校正,同时检查采样流量和等动力采样头
b.采样管口置于采样点采样时,空气洁净检测,在计数趋于稳定后,开始连续读数。
c.采样管必须干净,空气洁净检测中心,严禁渗漏。
d.采样管的长度应根据仪器的允许长度。除另有规定外,长度不得大于1.5m。
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温湿度测量的目的是确认室内之温湿度控制在范围之内,温湿度对微粒控制没有甚么影响,因此温湿度测试属于第三级测试(
level 3 )。但是因无尘室多半同时也是环控室,所以温湿度常常就一并测量了。温湿度测量又分为一般测量和---测量( general
洁净室检测方法
一、测试目的
确认在无尘室释放颗粒后,测量在多少时间内能恢复到释放之前的洁净水平。
二、测试仪器
颗粒测试仪(品牌:美国 met one空气粒子计数器),型号:hhpc2+、hhpc3+、hhpc6+;3413、3423、3411、3445、颗粒释放器。
三、测试位置
任意抽取测量点,也可与相关人员共同确认测试点。
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